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阴极发光是一种光谱分析方（fāng）法，通过电子束轰击材料产生发光（guāng）后，用来在局部（bù）范（fàn）围内鉴别材料中的点缺陷和杂质缺陷，应用于微电子，半导体材料，绝缘（yuán）体，地质学和（hé）矿物学等领域。
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